台积公司打造“氢氟酸废液合成冰晶石系统”，每年可创逾新台币4亿元效益

台積公司推動循環經濟，致力將製程產生的廢棄資源再製為異業可使用的產品，民國110年9月成功於晶圓十五B廠啟用首座「氫氟酸廢液合成冰晶石系統」，將氫氟酸廢液合成為鋁工業所需的高純度冰晶石，截至11月已減少氫氟酸廢液委外處理量達500噸、產出冰晶石150噸，預計於民國112年擴大導入至先進製程晶圓廠區，目標每年減少委外處理量46,000噸、產出冰晶石12,000噸，創造逾新台幣4億元效益。

以廢液做為冰晶石原料，資源利用價值最大化

針對晶圓加工與清洗製程產生的氫氟酸廢液，台積公司為友善環境並提升廢液的再利用價值，民國107年起攜手協力廠商啟動氫氟酸廢液回收技術研究，透過分析廢液濃度、再製技術、藥劑製備與銷售通路等面向，評估將氫氟酸廢液合成為高純度冰晶石最具廢棄資源高值化優勢。

冰晶石主要用於鋁工業做為助熔劑，可於電解煉鋁過程中節省逾25%能耗，由於全球天然冰晶石產量稀少且幾乎開採完畢，現多為人工合成品，一般製作過程需較多原料且反應溫度較高。台積公司以氫氟酸廢液做為冰晶石製程的原料，根據氫氟酸廢液的濃度需求，與廠商合作研發出可生成冰晶石的反應藥劑，再搭配適當的操作參數降低反應溫度，成功使氫氟酸廢液合成為高純度冰晶石，不僅克服因稀釋廢液所需的設備空間限制，可直接於廠內生產，在地研發的反應藥劑亦提升國內循環經濟產業的再生技術。

台積公司氫氟酸廢液合成冰晶石與一般製造過程差異

台積公司透過設立廠內資源再生活化設備，將廢棄資源轉製為鋁工業電解所需的高品質助熔劑，除精進自身減廢效益，更進一步擴大循環經濟作為，跨產業落實節能減碳，一同創造永續共好。

台積公司氫氟酸廢液再利用執行期程